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PVD镀膜技术

真空镀膜行业兴起背景;随着欧盟RoHS指令的实施及各国针对环保问题纷纷立法。传统高污染之电镀行业已不符合环保要求,必将被新兴环保工艺取代。而真空镀膜没有废水、废气等污染,在环保上拥有绝对优势,必将兴起并普及。

一、PVD相关概念的定义

真空:泛指低于一个大气压的气体状态。与普通的大气状态相比,分子密度较为稀薄,从

而气体分子与气体分子,气体分子与器壁之间的碰撞几率要低些。

二、PVD(Physical Vapor Deposition)的定义

所谓气象沉积是利用在气象中以物理或化学的反映过程,在工件

表面形成具有特殊性能的金属或化合物涂层的方法。

三、气象沉淀的特点

1.可以用来制备具有各种特殊力学性能和物理化学性能(如:高硬度,高耐热,高热导,高耐腐蚀,抗氧化,绝缘等)涂层。不仅可以层积金属涂层,合金涂层,还可以层积多种多样的化合物.非金属半导体.陶瓷和有机物的单层和多层结构的涂层。

2.气象沉积技术生产制备的高硬度,高耐热,高热导,高耐腐蚀,抗氧化,绝缘等涂层,特殊性能的电学,光学功能的涂层,装饰装修涂层,已广泛用于机械、航天、建筑、五金装饰、電子產品、汽配件等行业。

四、气象沉淀的优点:

(1)沉积速率大,生产效率高。由于采用了高速碰撞电极,可以获得非常大的轰击离子电流,所以靶表面的刻蚀速率和膜的沉积速率都很高。

(2)基体温升低。由于正交电磁场控制后减少了电子对基体的碰撞,因此减少了电子对基体的轰击能量,从而避免了基体温升过高,这对基体易受高温影响的元件来说是很有利的。

(3)沉积层是在真空条件下获得的,涂层的纯度高。

(4)在低温等离子体条件下产生,沉积层粒子的整体活性大,易与反应气体进行化合反应,获得各种涂层。

5)沉积层薄,可方便的控制多个工艺参数。

(6)沉积是在真空条件下进行的,没有有害气体排出,属于无污染技术。


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